精彩推荐

ULVAC uGmni 系列通用多工艺平台--新刻蚀模块发布

2022/9/15

超过800个modules的销售实绩

 

  • GaAs、InP、GaN、SiC等化合物半导体

  • SAW/BAW、功率器件等的金属布线

  • Piezo-MEMS的PZT和AlScN等压电膜

     

重大改进

 

  • 新型离子源“ISM-duo”

  • 各个方向等量排气、大排气量腔体构造

  • 改善冷却效率的基板电极

 

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