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半导体真空装备制造商“生波智能”完成亿元级A轮融资

2022/9/16

36氪5月26日消息,半导体真空装备制造商浙江生波智能装备有限公司近日宣布完成亿元级A轮融资,由国芯创投领投,派诺资本及产业资方跟投。据了解,本轮融资资金将用于半导体先进工艺制程设备的研发、安徽滁州明光“半导体大型真空镀膜设备项目”制造基地建设、扩充企业产能等,并进一步保持及增强“生波智能”在半导体及光电显示行业的技术领先优势。


公司公开资料显示,生波智能是一家高端智能化半导体真空装备制造商,以真空镀膜工艺技术开发、真空镀膜设备研发制造技术为核心,在等离子体源、PECVD源、PVD源等多种核心源部件拥有自主研发、制造能力。生波智能通过中高端设备的研发及专项设备的定制,为客户提供新工艺开发、新装备研制、大规模量产型生产线制造与交付以及长期技术支持、维保等全方面、一体化地解决方案。生波智能产品体系丰富,产品广泛应用于半导体、平板显示、航天科技、深空探测、新材料封装等领域。


生波智能拥有卷绕控制系统、模块化设计、倾斜式箱体设计、PEM气体控制系统、新型中频圆柱旋转阴极、线形离子源、磁悬浮导向、二进制多段布气、集成式生产线水冷系统等20余项先进工艺和核心技术,并将各种创新技术应用于生产线实践,并在实践中发掘新的创新点,共同推进工艺和设备的不断更新和进步。



智慧芽数据显示,生波智能目前共有20件专利申请,其中10件为发明专利,公司专利布局主要聚焦于真空镀膜、驱动机构等相关领域。

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